UV-LED光源系列的产品介绍

更新时间：2023-04-06

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点照射通用 Awill-V

它是使用 UV 固化粘合剂粘合光学部件和微型部件的理想选择。
它是一款轻巧紧凑的型号，配备通信功能，并以安装在设备中为前提进行设计。
照射头可连接4CH，使用分支箱最多可点亮16个LED。
此外，通过更换端透镜，可以有效地用紫外线照射必要的区域。

用于晶圆外围器件曝光的EW01S

用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安装在新设备中，也可以用目前使用的紫外灯光源代替。
UV-LED的安装通过降低功耗，减少环境影响，延长光源寿命以及消除对任何机械消耗件的需求，极大地降低了客户的运行成本。

晶圆边缘曝光用（高输出型）EW04S

用于 g 线和 i 线抗蚀剂兼容晶圆边缘曝光的 UV-LED 光源。特的光学设计实现了 7,000 mw/cm² 或更高的高输出。适用于加工时间长的厚膜抗蚀剂加工。此外，可以大大缩短曝光处理时间，大大有助于增加处理的晶片数量

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