超声波与兆声波的比较
德国sonosys超声波清洗
LIGA 技术开发过程中 40 kHz 和 1 MHz 超声波频率的比较
应用兆声波的一个重要优势是能够顺利清洁极其脆弱的微结构。左图显示显微结构已被40 kHz超声
波频率的高空化能量破坏。被破坏的山脊厚度约为。4微米。在 1 MHz 超声波频率下，微观结构保
持不变（右图）。
高纵横比微结构开发的工艺支持
当通过 X 射线光刻生产微结构时，致密和深层结构的无残留开发尤为重要。
在高纵横比的微结构（例如LIGA技术）的开发过程中，由于产生的微流，颗粒被完的全冲走，开发时
间缩短了7倍。对于脆弱的结构，结构的深度可以增加 2 倍。
扫一扫
您的位置：
更新时间：2024-01-04 
浏览次数：19
在线咨询
返回顶部