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sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500板材采用导热性高、可靠性高的氮化铝。由于温度传感器内置于加热器中,因此可以进行精确的温度控制。
联系电话:13691609757
品牌 | 其他品牌 | 产地 | 国产 |
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sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500
sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500
板材采用导热性高、可靠性高的氮化铝。
由于温度传感器内置于加热器中,因此可以进行精确的温度控制。
温度分布
由于板面均匀结合了小面积、大容量的发热体,温度分布良好。
它可以在 400°C 或更低的正常温度下使用(最大.
温度控制
加热器内置温度传感器,可实现精确的温度控制。
导热
板采用高导热、高可靠性的氮化铝。
类型名称 | MTP-500 |
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产品代码 | MTP500 |
加热器等级 | 100V *330W±25%(瓦特密度:13.2W/cm 2) |
内置热电偶 | K 型热电偶(内置于加热器中) |
工作温度 | 气氛:正常使用 400°C 500°C Max 真空中:正常使用 400°C 500°C Max(取决于真空压力条件) |
板块面积 | 50×50mm |
半導体ウェーハ製造加熱用、液晶ディスプレイ基板加熱用
CVD、スパッタリング、プラズマエッチングの熱処理用
プラスチック、ゴム等の予熱・成型ホットプレス金型
各種化学機器、試験装置の加熱基盤
電子材料、新素材の開発試験用
温度範囲 | ~900℃ |
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熱板材質 | アルミ、SUS304、SUS316L、ハステロイC、インコネル600、石英 |
表面処理 | アルマイト、タフラム、ニッケル、クロム等処理 |
使用雰囲気 | 大気中、真空中、不活性ガス及び各種処理ガス中 |
温度分布濃度 | 仕様要求温度に応じて有効ゾーン内設定温度の±1%(℃)可能 |
温度センサー | 主にシース熱電対を熱板内に設置使用 |