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sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER特征超快速加热和冷却是可能的一次性均匀加热 2 英寸基板可以只对被加热物直接加热可以进行适合工艺的温度控制无需加热大气即可实现节能
联系电话:13691609757
品牌 | 其他品牌 |
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sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER
sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER
超快速加热和冷却是可能的
一次性均匀加热 2 英寸基板
可以只对被加热物直接加热
可以进行适合工艺的温度控制
无需加热大气即可实现节能
MBE 设备的基板加热
晶圆退火(SiC、GaAs等)
多层结构器件的表面层退火是可能的(用于小型化器件)
型号:EXL-CT-010-DS55 | |||
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激光照射方式 | 直接型 | 身体尺寸 | H625mm x W700mm x D320mm |
激光输出 | 高达 1kW | 配件 | 专用冷水机 |
激光波长 | 808nm | 评分 | 本体:1P200V20A 冷水机:1P200V15A |
激光形状 | 正方形 | ||
光学系统(均匀性) | 均质器 (±5%) | 评论 | JST原创造型 开发品(2005年度) |
加热区 | □ 55mm | ||
工作距离 | 400mm~ |
日本大塚OTUSKA放大镜SKKL-CL SKKL-F SKKL-CF SKKL-FD S
日本INTECS卤素灯 UIH-2D 高辉度检查装置
柴田科学SIBATA石棉采样泵 AIP-205
柴田科学SIBATA迷你泵MP-+100HNII
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